Sensor de pressão cerâmico
Sensores de pressão de cerâmica referem-se a sensores que usam cerâmica de alumina como elemento elástico de detecção de pressão-do núcleo. Eles utilizam principalmente impressão de filme-espesso e processos de co-alta temperatura para formar diretamente uma ponte de Wheatstone piezoresistiva na parte traseira de um diafragma de cerâmica. Quando o diafragma cerâmico sofre deformação mínima devido à pressão, causa uma alteração na resistência, emitindo assim um sinal elétrico.
Princípio de funcionamento
O princípio fundamental é o efeito piezoresistivo, mas a implementação difere do silício difundido:
Matéria-prima:Usa substratos cerâmicos de alumina de alta-pureza e altamente elásticos.
Processo de fabricação:
Na parte de trás do substrato cerâmico, uma pasta de resistor especial (geralmente contendo metais preciosos) é impressa em um padrão de ponte de Wheatstone usando tecnologia de impressão de filme-espesso.
O substrato impresso é então sinterizado em altas temperaturas (normalmente acima de 1000 graus), unindo firmemente a pasta do resistor ao substrato cerâmico em uma única unidade.
Processo Operacional:
A pressão atua na parte frontal do diafragma cerâmico.
O diafragma cerâmico sofre uma deformação por flexão extremamente leve.
Essa deformação é transferida para os resistores de filme{0}}espesso na parte traseira, fazendo com que seus valores de resistência mudem.
A mudança na resistência dos quatro resistores conectados em uma ponte de Wheatstone é convertida em um sinal de saída de tensão proporcional à pressão.
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